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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电纳米定位控制系统

普通会员

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X、Y轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司

产品价格1000.00元/台

产品品牌上海纳动纳米位移技术有限公司

最小起订≥1 台

供货总量100 台

发货期限自买家付款之日起 30 天内发货

浏览次数101

企业旺铺http://nanomotions.wxin.com.cn/

更新日期2022-05-28 15:09

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上海纳动纳米位移技术有限公司

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联系固话:02154668263

联系地址:上海市徐汇区虹梅路2008号3幢3层

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商品信息

基本参数

品牌:

上海纳动纳米位移技术有限公司

所在地:

上海

起订:

≥1 台

供货总量:

100 台

有效期至:

长期有效

分辨率:

0.3 nm

谐振频率(0g):

(XY)2200 Hz

运动方向推力/拉力:

50N / 20N
详细说明
产品描述
PK2H100-030U压电扫描台采用压电陶瓷直接驱动并联机械运动结构设计,具有超高动态扫描运动及超高精度的重复运动轨迹,特别适用于表面分析和扫描显微镜。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命,PK2H100-030U扫描位移台可提供z佳的性能。超高的刚度和动态使用频率,可实现高精度和快速的闭环响应。在并联多轴系统中,所有压电陶瓷作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动
PK2H100-030U压电扫描台均可提供闭环反馈(-S)或开环(无反馈)。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出,直接实现亚纳米分辨率,线性误差低于0.02%的精度和重复性。
PK2H100-030U压电扫描台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电扫描台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—XY位移:30μm(闭环)
—方形中孔尺寸:50x50mm
—超高刚度,z大承载能力:5Kg
—超高柔性并联结构设计
—直接驱动结构,具有超高动态特性
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

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