场发射扫描电子显微镜

赛默飞（原FEI）Apreo场发射扫描电子显微镜  

功能丰富的高性能SEM  

Apreo复合透镜结合了静电和磁浸没技术，可产生高分辨率和材料对比度。  

赛默飞（原FEI）Apreo场发射扫描电子显微镜是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台，而不会降低磁性样品性能。传统的高分辨率SEM透镜技术分为两类：磁浸没或静电。FEI将两种技术结合到一个仪器中。这样做所产生的成效远远超过任一种镜筒的个体性能。两种技术均使电子束形成细小探针，以提高低电压下的分辨率，并使信号电子进入镜筒。通过将磁透镜和静电透镜组合成一个复合透镜，不但提高了分辨率，还增加了特有的信号过滤选项。静电-磁复合末级透镜在1kV电压下的分辨率为1.0nm(无电子束减速或单色器)。  

Apreo拥有透镜内背散射探测器T1，其位置紧靠样品以便尽可能多地收集信号，从而确保在很短的时间内采集数据。与其他背散射探测器不同，这种快速的探测器始终可保证良好的材料对比度，在导航时、倾斜时或工作距离很短时也不例外。在敏感样品上，探测器的价值凸现出来，即使电流低至几pA，它也能提供清晰的背散射图像。复合末级透镜通过能量过滤实现更准确的材料对比度以及绝缘样品的无电荷成像，进一步延伸了T1BSE探测器的潜在价值。它还提供了流行选项来补充其探测能力，例如定向背散射探测器(DBS)、STEM3+和低真空气体分析探测器(GAD)。所有这些探测器都拥有的软件控制分割功能，以便根据需求选择z有价值的样品信息。  

每个Apreo都按标准配备各种用以处理绝缘样品的策略，包括：高真空技术，例如SmartSCAN™、漂移补偿帧积分(DCFI)和电荷过滤。对于z有挑战性的应用，Apreo可提供电荷缓解策略。其中包括可选的低真空(z高为500Pa)策略，通过经现场验证的穿镜式差分抽气机构和专用低真空探测器，不但可以缓解任何样品上的电荷，还能提供的分辨率和较大的分析电流。  

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